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5.2末端治理
??电子厂房各个生产车间内，单晶炉、多晶炉、IC测试台、PLC控制的机械手、芯片制造用的晶圆机或变频控制的半导体机台都会产生大量的谐波，它们不但会造成机台设备自身的坏机现象，回流进电网的谐波电流还会引起其它回路的发热、电子开关误动作、供电电压不稳，甚至引起生产线停线、半成品的报废 。其损失不可谓不大 。而且高能设备如：外延设备、扩散设备、离子注入设备的频繁加卸载，更加重了用电环境的恶化 。针对上述负载情况，建议在各个重要设备的配电箱增加电能质量补偿设备进行就地治理，以达到末端治理谐波的目的，避免影响到整个配电系统的和其他的用电设备 。其末端治理的产品选型见表2 。
表2末端治理产品选型表
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6结论
??谐波污染状况越来越加重随即引发大家的极度关注，再加上对现有谐波实际存在状态有一定了解和相应处理措施，为了更高效实现抑制谐波成效，针对不一样谐波源负载需要采取对应结构滤波装置才能达到消除谐波效果 。
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